分析范圍0~50微米
分析誤差5%
分析時間30秒
重復(fù)性0.1%
電源電壓220V
X熒光鍍層測厚儀硬件配置
高功率高壓單元搭配微焦斑的X光管,大的保證了信號輸出的效率與穩(wěn)定性。
EDX能的將不同的元素準(zhǔn)確解析,針對多鍍層與復(fù)雜合金鍍層的測量,有著不可比擬的優(yōu)勢。
在準(zhǔn)直器的選擇上,EDX金屬鍍層測厚儀也有著很大的優(yōu)勢,它可以搭配的準(zhǔn)直器更小:0.1*0.3mm,中0.15mm;中0.2mm;中0.3mm;中0.5mm等等。用超小的準(zhǔn)直器得到的超小光斑,讓更小樣品的測量也變得游刃有余。
X熒光測厚儀采用X熒光分析技術(shù),可以測定各種金屬鍍層的厚度,包括單層、雙層、多層及合金鍍層等,它也可以進行電鍍液的成分濃度測定。它能檢測出常見金屬鍍層厚度,無需樣品預(yù)處理;分析時間短,僅為數(shù)十秒;即可分析出各金屬鍍層的厚度,分析測量動態(tài)范圍寬,可從0.01M到60M。它是一種能譜分析方法,屬于物理分析方法。當(dāng)鍍層樣品在受到X射線照射時,其中所含鍍層或基底材料元素的原子受到激發(fā)后會發(fā)射出各自的特征X射線,探測器探測到這些特征X射線后,將其光轉(zhuǎn)變?yōu)槟M;經(jīng)過模擬數(shù)字變換器將模擬轉(zhuǎn)換為數(shù)字并送入計算機進行處理;計算機的應(yīng)用軟件根據(jù)獲取的譜峰信息,通過數(shù)據(jù)處理測定出被測鍍層樣品中所含元素的種類及各元素的鍍層厚度。
我公司集中了國內(nèi)的X熒光分析﹑電子技術(shù)等行業(yè)技術(shù)研究開發(fā)及生產(chǎn)技術(shù)人員,依靠多年的科學(xué)研究,總結(jié)多年的現(xiàn)場應(yīng)用實踐經(jīng)驗,結(jié)合的特色,開發(fā)生產(chǎn)出的X熒光測厚儀具有快速、準(zhǔn)確、簡便、實用等優(yōu)點。
我公司新研制的X熒光測厚儀,廣泛用于用于鍍層厚度的測量、電鍍液厚度的測量。
1. 儀器特點:
Ø 同時分析元素周期表中由鈦(Ti)以上元素的鍍層厚度;
Ø 可以分析單層、雙層、三層等金屬及合金鍍層的厚度;
Ø 無需復(fù)雜的樣品預(yù)處理過程;分析測量動態(tài)范圍寬,可從0.01M到60M ;
Ø 采用的探測器技術(shù)及的處理線路,處理速度快,精度高,穩(wěn)定可靠;
Ø 采用正高壓激發(fā)的微聚焦的X光管,激發(fā)與測試條件采用計算機軟件數(shù)碼控制與顯示;
Ø 采用彩色攝像頭,準(zhǔn)確觀察樣品并可拍照保存樣品圖像;
Ø 采用電動控制樣品平臺,可以進行X-Y-Z的,準(zhǔn)確方便;
Ø 采用雙激光對焦系統(tǒng),準(zhǔn)確定位測量位置;
Ø 度高,穩(wěn)定性好,故障率低;
Ø 采用多層屏蔽保護,安全性可靠;
Ø WINDOWS XP 中文應(yīng)用軟件,特的分析方法,完備強大的功能,操作簡單,使用方便, 分析結(jié)果存入標(biāo)準(zhǔn)ACCESS數(shù)據(jù)庫;
2、儀器的技術(shù)特性
2.1 X-Y-Z樣品平臺裝置
X熒光測厚儀的X-Y-Z樣品平臺裝置具有可容納各種形態(tài)被測樣品的樣品室。
樣品種類:各種形狀的鍍層樣品,及電鍍液體樣品。
平臺:X-Y-Z采用電動方式,實用方便。

2016年10月,工業(yè)和信息化部發(fā)布了三項機械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為JB/T 12962.1-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第1部分:通用技術(shù)》、JB/T 12962.2-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第2部分:元素分析儀》和JB/T 12962.3-2016《能量色散X射線熒光光譜儀 第3部分:鍍層厚度分析儀》(以下簡稱“三項標(biāo)準(zhǔn)”)。三項標(biāo)準(zhǔn)將于2017年4月1日正式實施。這三項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)均由天瑞儀器起草撰寫。
天瑞儀器作為在國內(nèi)的X熒光光譜儀生產(chǎn)廠商,X熒光光譜儀產(chǎn)品齊全、種類繁多,包括能量色散X射線熒光光譜儀、波長色散X射線熒光光譜儀等,基本覆蓋了X熒光光譜儀的所有產(chǎn)品。其在業(yè)內(nèi)的度獲得了國家標(biāo)準(zhǔn)化管理會的認(rèn)可。2010年,全國工業(yè)過程測量和控制標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)會分析儀器分技術(shù)會任命天瑞儀器為三項標(biāo)準(zhǔn)的主編單位。本次起草編撰歷時4年。經(jīng)過多次的驗證、討論及意見征求, 2014年1月,天瑞儀器依據(jù)參編單位意見對標(biāo)準(zhǔn)工作組討論稿再次進行修改并形成了標(biāo)準(zhǔn)送審稿。2016年10月,工業(yè)和信息化部批準(zhǔn)發(fā)布了該標(biāo)準(zhǔn),并定于2017年4月1日實施。
二十世紀(jì)七十年代末,我國引進能量色散X射線熒光光譜儀投入使用,到90年代我國已具備自主生產(chǎn)能量色散X射線熒光光譜儀的能力。經(jīng)歷了近30年的發(fā)展,到二十一世紀(jì)初我國能量色散X射線熒光光譜儀生產(chǎn)技術(shù)已日臻成熟。目前,我國已有多家研制、生產(chǎn)、組裝能量色散X射線熒光光譜儀的廠商,其產(chǎn)品主要性能指標(biāo)基本接近國際水平。但是如何對能量色散X射線熒光光譜儀進行有效的質(zhì)量評定,確保能量色散X射線熒光光譜儀的品質(zhì),目前國內(nèi)還沒有統(tǒng)一的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),相關(guān)企業(yè)基本按照自定的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn),難免造成儀器性能不穩(wěn)定、產(chǎn)品質(zhì)量參差不齊、使用者對儀器性能不了解、儀器購銷貿(mào)易糾紛不斷等問題,嚴(yán)重影響了行業(yè)的健康發(fā)展。
三項標(biāo)準(zhǔn)的實施將打破能量色散X射線熒光光譜儀行業(yè)的亂象,將規(guī)范本行業(yè)對于產(chǎn)品的技術(shù)要求及其測試方法,促進產(chǎn)業(yè)的進步和發(fā)展;將為產(chǎn)品的合同訂立和產(chǎn)品交易提供技術(shù)支持,確保供貨方和使用方的和利益;將使相關(guān)學(xué)術(shù)交流中,實驗數(shù)據(jù)和測量結(jié)果的表述更加準(zhǔn)確、可靠,更具參考性;將為儀器的生產(chǎn)及制造過程中提供可做為驗收依據(jù)的參考數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
測量超微小部件和結(jié)構(gòu),如:印制線路板、連接器或引線框架等;
分析超薄鍍層,如:厚度薄至2nm的Au鍍層和≤30nm的Pd鍍層;
測量電子和半導(dǎo)體行業(yè)中的功能性鍍層;
分析復(fù)雜的多鍍層系統(tǒng);
全自動測量,如:用于質(zhì)量控制領(lǐng)域;
符合ENIG/ENEPIG要求,符合DINISO3497,ASTMB568,IPC4552和IPC4556標(biāo)準(zhǔn)。

軟件優(yōu)勢
1、清晰化操作界面布局
簡約的布局設(shè)計,讓操作員快速的掌握軟件基本操作。
2、快捷鍵按鈕設(shè)計
增加了日常鍍層測量快捷鍵設(shè)計按鈕,可快速檢測,提升工作效率。
3、高清可視化窗口
可清晰直觀的觀測到被檢測樣品的狀態(tài),通過自動對焦、移動快捷鍵,調(diào)節(jié)到用戶理想的觀測效果。
4、多通道數(shù)字譜圖界面
清晰化呈現(xiàn)被檢樣品的元素譜圖,配合的解譜技術(shù),便可計算出結(jié)果。
5、測試結(jié)果匯總布局設(shè)計
可快速查找當(dāng)前測試數(shù)據(jù),并可對測試數(shù)據(jù)進行報告生成,且快速查詢以往測試數(shù)據(jù)。
天瑞儀器股份有限公司集30多年X熒光膜厚測量技術(shù),研發(fā)的一款全新上照式X射線熒光分析儀,該款儀器配置嵌入集成式多準(zhǔn)直孔、濾光片自動切換裝置和雙攝像頭,不僅能展現(xiàn)測試部位的細(xì)節(jié),也能呈現(xiàn)出高清廣角視野;自動化的X/Y/Z軸的三維移動,實現(xiàn)對平面、凹凸、拐角、弧面等形態(tài)的樣品進行快速對焦分析。能地滿足半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試需求。
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